وتشغل فيها المفاعل لمقدار يصل إلى حوالي 30 دقيقة، وذلك مع درجة حرارة تتراوح ما بين 500 إلى 1150 درجة مئوية؛ ممّا يسمح بتفكك ذرات الهيدروكربون الموجودة ، ثم يمرّر عبر المفاعل تيار من غاز الأرجون أو الهيدروجين، أو خليط من الاثنين ثم يحمل هذا التيار الغازي ذرات الكربون الناتجة عن تفكك الهيدروكربون. ثم يعاد تشكيل وترتيب ذرات الكربون على صورة أنابيب كربون نانوية (انظر الشكل رقم 3-16). وتقنية ترسيب الأبخرة الكيميائية تعد من أحدث الطرق التي طوّرت؛ لتتغلب على عيوب الطريقة السابقة من حيث انخفاض تكلفتها ، واستخدام درجة حرارة أقل في الإنتاج، كما تتميز بوفرة الإنتاج،

وبقدرتها على إنتاج كلا النوعين، أي أنابيب النانو الكربونية أحادية الجدار، ومتعددة الجدار. ويوضع في هذه الطريقة داعم تفاعل (substrate) يكون في الغالب رقاقة سيلكون في وسط حيز التفاعل الذي يشبه القرن (Oven-like)، وترفع درجة حرارة الحيز إلى 600 درجة مئوية، لم يضاف غاز الهيدروكربون، أو أي غازات كربونية إلى نظام التفاعل الذي ينتج عنه فصل ذرات الكربون، ثم تشكل أنابيب الكربون على الرقاقة السيلكونية، وكذلك تشكل الكثير من تركيبات الكربون الأخرى إلى جانب أنابيب النانو الكربونية، مثل: مسحوق الكربون، وشرائحه السميكة والرقيقة، وغيرها. وعلى الرغم من بعض العيوب التي قد توجد في الأنابيب المنتجة بهذه الطريقة فإن هذه الطريقة تعد من أكثر الطرق انتشارا بين المجموعات البحثية لإنتاج أنابيب النانو الخاصة بهم؛ وذلك لسهولة عملها، وتوفر تجهيزاتها. ويمكن تصنيع أنابيب الكربون النانوية بواسطة هذه الطريقة على شكل مسحوق (بودر) أيضًا، وذلك باستخدام محفزات على شكل مسحوق مثل: الحديد، أو الكوبالت، أو النيكل، وليست هذه الطريقة محصورة على ترسيب أنابيب الكربون النانوية على شكل شرائح من السيلكون بل تعد من أهم الطرق لإنتاج أنابيب الكربون بكميات كبيرة وتجارية .

شكل رقم (1) مخطط توضيحي لعمليات تصنيع أنابيب الكربون النانوية باستخدام

طريقة الترسيب البخاري في مسامات أكسيد الألمونيوم .