تاريخ الفيزياء
علماء الفيزياء
الفيزياء الكلاسيكية
الميكانيك
الديناميكا الحرارية
الكهربائية والمغناطيسية
الكهربائية
المغناطيسية
الكهرومغناطيسية
علم البصريات
تاريخ علم البصريات
الضوء
مواضيع عامة في علم البصريات
الصوت
الفيزياء الحديثة
النظرية النسبية
النظرية النسبية الخاصة
النظرية النسبية العامة
مواضيع عامة في النظرية النسبية
ميكانيكا الكم
الفيزياء الذرية
الفيزياء الجزيئية
الفيزياء النووية
مواضيع عامة في الفيزياء النووية
النشاط الاشعاعي
فيزياء الحالة الصلبة
الموصلات
أشباه الموصلات
العوازل
مواضيع عامة في الفيزياء الصلبة
فيزياء الجوامد
الليزر
أنواع الليزر
بعض تطبيقات الليزر
مواضيع عامة في الليزر
علم الفلك
تاريخ وعلماء علم الفلك
الثقوب السوداء
المجموعة الشمسية
الشمس
كوكب عطارد
كوكب الزهرة
كوكب الأرض
كوكب المريخ
كوكب المشتري
كوكب زحل
كوكب أورانوس
كوكب نبتون
كوكب بلوتو
القمر
كواكب ومواضيع اخرى
مواضيع عامة في علم الفلك
النجوم
البلازما
الألكترونيات
خواص المادة
الطاقة البديلة
الطاقة الشمسية
مواضيع عامة في الطاقة البديلة
المد والجزر
فيزياء الجسيمات
الفيزياء والعلوم الأخرى
الفيزياء الكيميائية
الفيزياء الرياضية
الفيزياء الحيوية
الفيزياء العامة
مواضيع عامة في الفيزياء
تجارب فيزيائية
مصطلحات وتعاريف فيزيائية
وحدات القياس الفيزيائية
طرائف الفيزياء
مواضيع اخرى
تقنية الطباعة على الأسطح Lithography
المؤلف: أ. د. محمد شريف الاسكندراني
المصدر: تكنولوجيا النانو من أجل غدٍ أفضل
الجزء والصفحة: ص256 –257
2023-12-17
1173
سبق أن تحدثنا عن تقنية الطباعة على الأسطح Lithography حيث أوضحنا ماهيتها وذلك بوصفها من أدق وأوسع الطرق انتشارا في مجال تصنيع الترانزستورات والدوائر المتكاملة وبوساطة استخدام هذه التقنية، تُطبع الشرائح الإلكترونية بكل أنواعها، وذلك من خلال تصميم أقنعة Masks على هيئة نماذج Patterns أو قوالب Molds تعطي تفاصيل الشكل المرغوب تنفيذه، والأبعاد المراد أن توجد عليها الشرائح. لذا، تعد هذه النماذج بمنزلة الخرائط الأساسية Blueprints التي تحدد هوية وشكل الشرائح.
ويُعرض قناع النموذج بعد تصميمه لأشعة ضوئية قادمة من مصدر ضوئي بحيث تُسقط هذه النماذج على ركيزة (طبقة) Substrate من مادة السيليكون التي تُستخدم في صناعة الشرائح، ومن ثم تتكون صورة طبق الأصل من النموذج، كما هو مبين في الشكل (12 – 8). ولعل القارئ الكريم يلاحظ مدى التشابه بين هذه التقنية وذلك الأسلوب المتبع في طبع الصور والحروف على صدور كثير من القمصان وبعض الثياب الأخرى.
الشكل (12 – 8): أسس عملية الزرع والطبع Lithography المستخدمة في إنتاج الشرائح الإلكترونية. (الشكل من تصميم مؤلف هذا الكتاب).